半導体製造用クリーンルームへの冷熱搬送系の省エネルギー
半導体製造用クリーンルームへの冷熱搬送系の省エネルギー
冷水可変量制御と抵抗低減剤の添加
坂内正明,桑原健一,板坂久雄

   半導体製造のクリーンルームへの冷熱供給のための、 冷水ポンプ系の熱媒体の搬送動力を低減する2つの施策を採用した。
一つは熱媒体搬送系に抵抗低減剤を添加し、 もう一つはポンプを冷水の圧力抵抗特性に応じて回転数を制御する機能である。 抵抗低減剤を短時間で目標濃度まで投入すると、冷水系の運用開始直後に空調機能力が低下した。 抵抗低減剤添加時の空調機能力の低下メカニズムをモデル実験により解明し、 能力低下を抑制しつつ、抵抗低減効果を得るには、どのように添加すべきかの見通しを得た。 また、このプラントでの冷水配管系の搬送動力低減効果を定量的に把握し、可変速制御と抵抗低減剤の事業性を評価した。

キーワード:
省エネルギー,圧力損失,ポンプ,ライフサイクルコスト,インバーター