化学吸着型セラミックセンサによる高温度中の湿度および風速の測定法について
化学吸着型セラミックセンサによる高温度中の湿度および風速の測定法について
野邑奉弘,西村伸也,志波 徹,兵働 務

  今日、空調機器や高温・高湿度乾燥などの工業プロセスにおける 高温領域での湿度ならびに風速の測定法の確立が重要課題となっているにもかかわらず、 操作が簡単で、しかも精度の高い直接測定法の開発はほとんど行なわれていない。 このため、100℃以上の高温領域に対しても、使用可能な湿度及び風速測定用センサとして 、ZrO2を主成分とする化学吸着型セラミックスに注目、両物理量を簡単かつ、 正確に測定可能なアルコリズムを提示した。このアルコリズムは制御装置に組込みが容易な 汎用性を考慮している。検証実験の結果、100℃〜500℃の高温域で、湿度0〜100%RHの範囲 の計測と、100℃〜300℃で湿度(0〜100%RH)を補正しつつ、0.5〜4m/sの風速計測が実施可能 であることを実証した。